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半导体

晶圆检测机

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设备参数:

· 产能:≥ 8ppm ;

· 准确率:≥ 95% ;

· 稼动率:≥ 95% (仅由设备自身原因造成);

· 漏检率:0 ;

· 误检率:≤ 5% ;


安装环境要求:

· 电源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;

· 压缩气源:0.4~0.7MPa  ≤1000L/H;

· 环境温度:室温+10°~+45°;

· 相对湿度:≯50%,无结露、无腐蚀性、可燃性气体。